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單晶爐是生長硅單晶的主要設(shè)備,是在惰性氣體環(huán)境中,通過石墨電阻加熱器將 多晶硅加熱融化,然后用軟軸直拉法生長無位錯(cuò)的單晶生長設(shè)備。下圖是單晶爐 圖片及系...[查看詳細(xì)]
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